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  2010, Vol. 29 Issue (5): 50-53    DOI:
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主动隔振作动器刚度放大与控制误差分析
张涛1,2, 黄宏彪1,2;王斌1,2;曾台英3;徐嘉1,2;刘芳1,2;赵芳芳1,2;朱健强1
(1.中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室,上海201800)(2.中国科学院研究生院,北京100039 ;3.上海理工大学出版印刷与艺术设计学院,上海200093)
STIFFNESS OF ACTUATOR AMPLIFICATION AND ANALYSE OF GOVERNING ERROR IN ACTIVE VIBRATION ISOLATION
hang Tao1,2;Huang Hongbiao1;Wang Bin1,2;Zeng Taiying3;Xu Jia1,2;Liu Fang1,2;Zhao Fangfang1;Zhu Jianqiang1
1.Joint Laboratory for High Power Laser Physics, Shanghai Institute of Optical and Fine Mechanics CAS;2. Graduate University of Chinese Academy of Science, Beijing 100039, China;3.University of Shanghai for Science and Technology School of Communication and Art Design, Shanghai 200093, China
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