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  2013, Vol. 32 Issue (10): 146-148    DOI:
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初应力对压电薄膜体声波谐振器厚度拉伸模态谐振特性的影响
黄德进,王骥,罗昕逸
宁波大学 机械工程和力学学院,浙江宁波 315211
EFFECTS OF INITIAL STRESSES ON RESONANCE CHARACTERISTICS OF FILM BULK ACOUSTIC RESONATOR IN THICKNESS-EXTENSION MODE
Huang Dejin, Wang ji, Luo Xinyi
The Faculty of Mechanical Engineering and Mechanics, Ningbo University, Ningbo, Zhejiang 315211, CHINA
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