扭摆式高g值微机械加速度计的设计优化与冲击校准

陶永康;刘云峰;朱科引;董景新

振动与冲击 ›› 2015, Vol. 34 ›› Issue (1) : 53-57.

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振动与冲击 ›› 2015, Vol. 34 ›› Issue (1) : 53-57.
论文

扭摆式高g值微机械加速度计的设计优化与冲击校准

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Optimization design and shock calibration of pendulous high-g micro-machined accelerometer

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