利用弯曲模态的惯性直线超声电机结构设计

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振动与冲击 ›› 2017, Vol. 36 ›› Issue (13) : 41-44.

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利用弯曲模态的惯性直线超声电机结构设计

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Structural design of inertial linear ultrasonic motor using bending modal

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