弯扭耦合影响的MEMS扭转谐振器件中的热弹性阻尼
台永鹏;李普;左万里
Thermoelastic damping in MEMS torsion resonators with coupling effect between torsion and bending
TAI Yong-peng;LI Pu;ZUO Wan-li
. 2014, (13): 35 -39 . 

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