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基于压电致动器的微动隔振平台系统
陶 帅;白鸿柏;侯军芳;何建设
Improvement of the Piezoelectric Actuators Using on Micro-equipment Vibration Isolation Platform
TAO Shuai;BAI Hongbai;HOU Junfang;HE Jianshe
. 2010, (
3
): 147 -149, .