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弹性边界与边缘场对静电微梁谐振器非线性动力学影响研究
常云霞1,2,张琪昌1,韩建鑫3
Influence of flexible boundary and fringing field on the nonlinear dynamic performance of electrostatic microbeam resonators
CHANG Yunxia1,2,ZHANG Qichang1,HAN Jianxin3
振动与冲击 . 2020, (
18
): 125 -131 .