六自由度精密隔振台的辨识与刚度解耦控制

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振动与冲击 ›› 2026, Vol. 45 ›› Issue (14) : 151-161.

六自由度精密隔振台的辨识与刚度解耦控制

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Identification and stiffness decoupling control of a 6-DOF precision vibration isolation platform

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