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压电柔顺x-y微夹持器的设计与分析
宋帅官1,杨依领1,吴高华1,张申廷1,魏燕定2
Design and analysis of a piezoelectric compliant x-y microgripper
SONG Shuaiguan1,YANG Yiling1,WU Gaohua1,ZHANG Shenting1,WEI Yanding2
振动与冲击 . 2022, (
10
): 154 -161 .