MEMS高g加速度传感器高过载能力的优化研究
石云波;李平;朱正强;刘俊;张晓明
Optimization and Research on High Overload Ability of MEMS High-g Accelerometer
Shi Yun-bo;Li Ping;Zhu Zheng-qiang;Liu Jun;Wang Rui-rong
. 2011, (7): 271 -274 . 

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