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初应力对压电薄膜体声波谐振器厚度拉伸模态谐振特性的影响
黄德进;王骥;罗昕逸
EFFECTS OF INITIAL STRESSES ON RESONANCE CHARACTERISTICS OF FILM BULK ACOUSTIC RESONATOR IN THICKNESS-EXTENSION MODE
Huang Dejin;Wang ji;Luo Xinyi
. 2013, (
10
): 146 -148 .