一类静电驱动微结构谐振传感器的吸合不稳定性研究及控制
尚慧琳 文永蓬
Pull-in Stability of an Electrostatically ActuatedMEMS Resonant Sensor and Its Control
Huilin Shang Yongpeng Wen
. 2013, (15): 8 -13 . 

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