李青 1, 何柯达 2, 3, 杨鸿杰 2, 3, 薛羽竣 2, 3, 马超 2, 3, 王天舒 1, 刘磊 2, 3
振动与冲击. 2024, 43(16): 84-91.
针对量子科学实验、精密制造等先进应用对亚赫兹微振动的抑制需求,研究基于准零刚度支撑结构和分离式音圈作动器的低频主动隔振技术。首先给出一种低频主动隔振平台设计方法,考虑准零刚度结构的等效动力学特性,采用牛顿-欧拉方法建立平台的动力学模型;然后基于所建立动力学模型分析多自由度耦合下平台的扰动传递特性并设计主动隔振算法;最后研制低频主动隔振平台进行实验验证。实验结果表明,所开发主动隔振平台能够在三个线自由度上实现优于98.3%的微振动抑制效果,在0.1~10Hz频率范围内载荷z方向微振动小于1.3×10-8g。